خصائص أهداف رش الألومنيوم فائقة النقاء

في السنوات الأخيرة، مع التقدم في تكنولوجيا الدوائر المتكاملة (IC)، تم تطوير التطبيقات ذات الصلة للدوائر المتكاملة بسرعة.أصبح هدف رش سبائك الألومنيوم عالي النقاء، كمواد داعمة في تصنيع الوصلات المعدنية للدوائر المتكاملة، موضوعًا ساخنًا في الأبحاث المحلية الحديثة.سيُظهر لنا محرر RSM خصائص هدف رش سبائك الألومنيوم عالي النقاء.

من أجل زيادة تحسين كفاءة الرش لهدف الرش بالمغنطرون وضمان جودة الأفلام المودعة، يُظهر عدد كبير من التجارب أن هناك متطلبات معينة للتركيب والبنية المجهرية واتجاه الحبوب لهدف الرش من سبائك الألومنيوم فائقة النقاء.

إن حجم الحبوب واتجاه الحبوب للهدف لهما تأثير كبير على تحضير وخصائص أفلام IC.أظهرت النتائج أن معدل الترسيب يتناقص مع زيادة حجم الحبوب.بالنسبة لهدف الاخرق بنفس التركيبة، يكون معدل الاخرق للهدف ذو حجم الحبوب الصغير أسرع من الهدف ذو حجم الحبوب الكبير؛كلما كان حجم حبيبات الهدف أكثر اتساقًا، كلما كان توزيع سمك الأفلام المودعة أكثر اتساقًا.

تحت نفس أداة الاخرق ومعلمات العملية، يزداد معدل الاخرق لهدف سبيكة Al Cu مع زيادة الكثافة الذرية، ولكنه مستقر بشكل عام في النطاق.إن تأثير حجم الحبوب على معدل التفل يرجع إلى تغير الكثافة الذرية مع تغير حجم الحبوب؛يتأثر معدل الترسيب بشكل رئيسي باتجاه الحبوب لهدف سبائك النحاس.وعلى أساس التأكد من نسبة (200) مستوى بلوري فإن زيادة نسبة (111) و(220) و(311) مستوى بلوري ستؤدي إلى زيادة معدل الترسيب.

يتم ضبط حجم الحبيبات واتجاهها لأهداف سبائك الألومنيوم فائقة النقاء بشكل أساسي والتحكم فيها عن طريق تجانس السبائك والعمل الساخن وإعادة التلدين.مع تطور حجم الرقاقة إلى 20.32 سم (8 بوصات) و30.48 سم (12 بوصة)، يتزايد الحجم المستهدف أيضًا، مما يضع متطلبات أعلى لأهداف رش سبائك الألومنيوم فائقة النقاء.من أجل ضمان جودة الفيلم وإنتاجيته، يجب التحكم بشكل صارم في معلمات المعالجة المستهدفة لجعل البنية المجهرية المستهدفة موحدة ويجب أن يحتوي اتجاه الحبوب على قوام مستوي قوي (200) و (220).