نعلم جميعًا أن الرش هو أحد التقنيات الرئيسية لإعداد مواد الفيلم.ويستخدم الأيونات التي ينتجها المصدر الأيوني لتسريع التجميع في الفراغ لتكوين شعاع أيوني عالي السرعة، وقصف السطح الصلب، وتقوم الأيونات بتبادل الطاقة الحركية مع الذرات الموجودة على السطح الصلب، بحيث تتحرر الذرات الموجودة على السطح الصلب يترك السطح المادة الصلبة ويترسب على سطح الركيزة.المادة الصلبة المقذوفة هي المادة الخام لترسيب الفيلم عن طريق الرش، وهو ما يسمى هدف الرش.
تم استخدام أنواع مختلفة من مواد الأفلام المتناثرة على نطاق واسع في الدوائر المتكاملة لأشباه الموصلات، ووسائط التسجيل، والعرض المستوي، وطلاء سطح الأداة والقالب وما إلى ذلك.
تُستخدم أهداف الرش بشكل أساسي في الصناعات الإلكترونية والمعلوماتية، مثل الدوائر المتكاملة، وتخزين المعلومات، وشاشات الكريستال السائل، وذاكرات الليزر، ومعدات التحكم الإلكترونية، وما إلى ذلك؛كما يمكن استخدامه في مجال طلاء الزجاج؛يمكن استخدامه أيضًا في المواد المقاومة للاهتراء، ومقاومة التآكل في درجات الحرارة العالية، ومنتجات الديكور الراقية وغيرها من الصناعات.
هناك أنواع عديدة من الأهداف المتطايرة، وهناك طرق مختلفة لتصنيف الأهداف:
وفقًا للتركيب، يمكن تقسيمه إلى هدف معدني، وهدف من السبائك، وهدف مركب من السيراميك.
وفقًا للشكل، يمكن تقسيمها إلى هدف طويل وهدف مربع وهدف مستدير.
يمكن تقسيمها إلى هدف إلكتروني دقيق، هدف تسجيل مغناطيسي، هدف القرص البصري، هدف المعادن الثمينة، هدف مقاومة الفيلم، هدف الفيلم الموصل، هدف تعديل السطح، هدف القناع، هدف الطبقة المزخرفة، هدف القطب الكهربائي وأهداف أخرى وفقًا لمجال التطبيق.
وفقًا للتطبيقات المختلفة، يمكن تقسيمها إلى أهداف خزفية ذات صلة بأشباه الموصلات، وتسجيل الأهداف الخزفية المتوسطة، وعرض الأهداف الخزفية، والأهداف الخزفية فائقة التوصيل، والأهداف الخزفية العملاقة ذات المقاومة المغناطيسية.
وقت النشر: 29 يوليو 2022