سيليسيد التنغستن
سيليسيد التنغستن
يستخدم مبيد سيليس التنغستن WSi2 كمادة للصدمات الكهربائية في الإلكترونيات الدقيقة، حيث يتم تحويله على أسلاك البولي سيليكون، وطلاء مضاد للأكسدة وطلاء سلك المقاومة.يستخدم سيليسيد التنغستن كمادة اتصال في الإلكترونيات الدقيقة، مع مقاومة 60-80μΩcm.يتم تشكيله عند 1000 درجة مئوية.يتم استخدامه عادةً كتحويلة لخطوط البولي سيليكون لزيادة توصيله وزيادة سرعة الإشارة.يمكن تحضير طبقة سيليكيد التنغستن عن طريق ترسيب البخار الكيميائي، مثل ترسيب البخار.استخدم المونسيلان أو ثنائي كلوروسيلان وسادس فلوريد التنغستن كغاز مادة خام.الفيلم المودع غير متكافئ ويتطلب التلدين لتحويله إلى شكل متكافئ أكثر موصلية.
يمكن أن يحل مبيد سيلي التنغستن محل فيلم التنغستن السابق.كما يستخدم سيليسيد التنغستن كطبقة حاجزة بين السيليكون والمعادن الأخرى.
يعتبر مبيد سيليس التنغستن أيضًا ذا قيمة كبيرة في الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة، ومن بينها يستخدم مبيد سيليس التنغستن بشكل أساسي كطبقة رقيقة لتصنيع الدوائر الدقيقة.ولهذا الغرض، يمكن حفر طبقة مبيد السيليكات التنغستن بالبلازما باستخدام مبيد السيليكات، على سبيل المثال.
| غرض | التركيب الكيميائي | |||||
| عنصر | W | C | P | Fe | S | Si |
| المحتوى (بالوزن٪) | 76.22 | 0.01 | 0.001 | 0.12 | 0.004 | توازن |
تتخصص شركة Rich Special Materials في تصنيع أهداف الرش ويمكنها إنتاج مواد رش مبيدات سيليكات التنغستن وفقًا لمواصفات العملاء.للمزيد من المعلومات، يرجى الاتصال بنا.
